Q-400 -микро система для измерения микро перемещений и деформаций

Система Q-400 μDIC™:

измерение микроскопических форм, смещений и деформаций

Общее описание

Система Q-400 μDIC специально создана для измерения искривлений и тепловых расширений в сфере микроэлектроники и производства компонентов, когда требуется миниатюризация электроники и высокая плотность компоновки.

Если моделирование невозможно или его необходимо дополнить результатами эксперимента, данная система способствует точному измерению деформаций. Измерительная система Q-400 μDIC является комплексным решением, состоящим из стереомикроскопа, подсветки, блока нагрева/ охлаждения, видеокамеры 5 Мп и удобного программного обеспечения для проведения измерений.

Варианты применения

• Измерение искривлений

• Определение коэффициента теплового расширения

• Проверка результатов анализа методом конечных элементов

• Исследование микроэлектронных компонентов

Характеристики и особенности

• Измерение трехмерных форм, деформаций и смещений

• Оптический бесконтактный метод измерения

• Быстрое и точное интерактивное наглядное представление результатов

• Небольшие микроскопические образцы менее 17 x 17 мм²

• Универсальная система с тепловой нагрузкой

Преимущества

Быстрая простая проверка результатов анализа методом конечных элементов и определение коэффициента теплового расширения возможны посредством сопоставления в реальном времени с субмикронной точностью изображений форм, деформаций и смещений. Простота и плавность настройки, фокусировки и калибровки позволяют сосредоточиться на действительно важном — измерение трехмерных искривлений, которое еще никогда не было таким простым.

Результаты

Система Q-400 μDIC позволяет выполнить простой и быстрый полномасштабный трехмерный анализ деформаций и смещений. В результате использования этой системы становятся доступны сведения о геометрии, деформациях и смещениях, временные и пространственные графики, сигналы тензодатчиков, обрабатываемые САПР данные формата STL, а также изображения и видеозаписи для целей представления.

Общие технические характеристики системы μDIC
Область измерения	Типичные области измерения размером 17 x 17 мм² или меньше
Результаты измерений	Полномасштабный профиль поверхности, трехмерные смещения и деформации
Диапазон измерений	До 100 % смещений (несколько измерений одновременно)
Прецизионные калибровочные пластины	Диапазон от 0,5 х 0,5 мм² до 2 х 2 мм²
Управляющая электроника	Приобретаемый отдельно настольный компьютер или ноутбук под управлением Windows 7, встроенный аналоговый вход для сбора и записи данных: 8 независимых настраиваемых аналоговых каналов сбора данных, разрешение 16 бит, размах амплитуды от ± 0,05 В до ± 10 В
	Синхронизация с включением видеокамеры
	2 аналоговых выхода для вывода данных (размах амплитуды ± 10 В)
Стереоскопический микроскоп	Диапазон увеличения: 8x ... 100x (объектив 1,0x, окуляры 10x)
Стереоскопический микроскоп	Оптическая система с апохроматической коррекцией, встроенная ирисовая диафрагма для регулировки глубины резкости, параметры масштабирования при нажатии кнопки остановки, парфокальные планапохроматические объективы 0,63x, 1x, 1,6x, 2x, встроенная светодиодная кольцевая подсветка, скользящая площадка и т. д.
Чип сенсора	Доступны различные типы сенсоров до 16 Мп (стандартная комплектация – 5Мп)
Сведения о сенсоре	Скорость затвора: 47 мкс ... 67 с; частота кадров: до 60 Гц (регулировка области исследования)
Чувствительность измерения:
Смещение	Точность до 0,01 пикселя в зависимости от условий измерений
Деформация	До 0,01 % (локально)
Функциональные возможности программного обеспечения • Корреляция в реальном времени до 2 Гц • Неограниченный открытый формат данных для результатов измерений • Быстрая и простая процедура автоматической калибровки с обратной связью по точности • Результаты отображаются в виде трехмерной модели или двухмерного наложения • Доверительный интервал для каждой точки данных • Настраиваемая фильтрация результатов измерений и произвольное определение опорного уровня • Расширенные функции внешней и внутренней синхронизации • Удобный графический пользовательский интерфейс соответствует универсальным рекомендациям в отношении диалоговых окон и рамок • Доступны различные системы координат (дополнительно пользователь может определить собственную систему координат) • Расширенная функциональность экспорта и импорта (например, форматы STL, AVI, ASCII) • Удобная последующая обработка данных • Удобная визуализация и анализ динамики процессов
Дополнительные возможности
Различные сенсоры	Разрешающая способность и фокусное расстояние адаптированы к индивидуальным вариантам применения
Блок нагрева/охлаждения	Для микроскопического измерения коэффициента теплового расширения, искривления электронных компонентов и т. д.
Аналоговый выход	Получение результатов измерений в виде динамического напряжения
Дистанционная техническая поддержка	Обслуживание системы и дистанционная поддержка пользователей через Интернет